Wafer Charging Monitors, Inc.

ChargeMap® ソフトウェア  

再使用可能な CHARM®-2 ウェーハ（特許取得済）が高信頼性且つ実践的な応用の面で成功した理由は、WCM 社の特許でもあるデーター変換技術にあります。このチャージマップは CHARM®-2 ウェーハで得られた結果をすばやく且つ使い易いデータ解析環境を提供するための専用解析ソフトウェアです。

実証された性能

WCM 社では、ChargeMap® を使用して、イオン注入機、レジスト アッシャー、 プラズマ エッチャー、プラズマ CVD システムを使用した CHARM®-2 上での実験 を何千例も解析しています。ChargeMap® は、標準パラメトリック テスターから CHARM®-2 データを読み取り、IC プロセス装置でチャージング ダメージの原因となるウェーハ マップの表面基板電圧、 UV 露光量、 電荷密度及び J-V特性を作り出します。

簡単な操作性

この特別な目的のために作成された ChargeMap® ソフトウェアには、 優れたデータ解析とディスプレイ機能 が備えています。これらは、独自のカスタマサポー トを展開する為に、WCM 社によって改良された WINDOWS® スタイルのプ ルダウンメニューを採用しているため、判り易く簡単に理解でき、且つ使いやすくなっております。

安価なハードウェア/ソフトウェア プラットフォームで実行可能

ChargeMap® ソフトウェアは、WINDOWS®-95 または WINDOWS®-98 環境下 の、8MB の メモリを備えた IBM互換 PC 上で実行できます。また、WINDOWS® がサポートし ているプリンタの使用が可能です。

標準パラメトリック テスターとの互換性

正確で、信頼性のおける CHARM®-2 の結果を確実に且つ、データーを柔軟に活用するために、ChargeMap® は、WCM 社認可の標準パラメトリック テス タ ーの型およびモデルから CHARM データファイルを読み取る目的で設計され ています。 推奨するテスターの一覧に関しては、WAFER CHARGING MONITORS, INC. までご連絡くださ い。